電子級(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍五氟苯磺酸鹽是一種高純度、穩(wěn)定的锍鹽化合物。其獨(dú)特的三芳基锍陽離子和強(qiáng)酸性五氟苯磺酸陰離子，使其具備優(yōu)異的光敏和化學(xué)特性，特別適用于半導(dǎo)體制造中的光刻膠配方及其他高精度微加工應(yīng)用。

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[基本信息]

中文名稱：(4-(叔丁基)苯基)二苯基磺酸鹽，2,3,4,5,6-五氟苯磺酸銨(1:1)

英文名稱：(4-(tert-butyl)phenyl) diphenyl sulfonium,2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate

分子式：C₂₈H₂₃F₅O₃S₂

分子量：566.1 g/mol。

外觀：白色或淺黃色粉末或結(jié)晶體。

純度：≥99.9%，符合電子級材料要求。

溶解性：
（1）溶于極性有機(jī)溶劑，如乙腈、二氯甲烷。
（2）不溶于水，表現(xiàn)出良好的溶劑選擇性。

熱穩(wěn)定性：能夠在300°C以下保持化學(xué)穩(wěn)定性。

 [應(yīng)用領(lǐng)域]

光刻膠行業(yè)
（1）作為光刻膠中的光敏劑，提高曝光分辨率。
（2）適用于深紫外（DUV）和極紫外（EUV）光刻技術(shù)，滿足納米級圖形制造需求。

微電子制造
（1）用于干法蝕刻和抗蝕劑技術(shù)，提升加工精度。
（2）支持復(fù)雜的微納圖形制造工藝。

高性能材料開發(fā)
（1）在功能性薄膜中提高材料的耐久性和穩(wěn)定性。
（2）廣泛應(yīng)用于高端顯示器和新能源設(shè)備的加工。

該產(chǎn)品憑借其高純度與性能穩(wěn)定性，已成為現(xiàn)代電子制造技術(shù)中的關(guān)鍵化學(xué)品，為提高器件的可靠性和制造效率提供了堅(jiān)實(shí)保障。