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電子級 產(chǎn)酸劑PAG 203

Ethanone,1,1'-[1,3-propanediylbis(oxy-4,1-phenylene)]bis[2,2,2-trifluoro-,1,1'-bis[O-(propylsulfonyl)oxime]

產(chǎn)品編號 CAS No. MDL No. PubChem ID 分子式 分子量 純度 外觀
  • 基礎(chǔ)信息
  • 產(chǎn)品詳情
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英文名稱 Ethanone,1,1'-[1,3-propanediylbis(oxy-4,1-phenylene)]bis[2,2,2-trifluoro-,1,1'-bis[O-(propylsulfonyl)oxime]
中文名稱電子級 產(chǎn)酸劑PAG 203
CAS號300374-81-6
產(chǎn)品編號YH68312
分子式C25H28F6N2O8S2
分子量662.62

電子級產(chǎn)酸劑PAG 203是一種高純度光致產(chǎn)酸劑,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻膠體系中。其獨特的光化學(xué)性能和優(yōu)異的熱穩(wěn)定性,使其能夠在紫外(UV)至深紫外(DUV)波段實現(xiàn)高效的酸生成,適配先進光刻工藝對高靈敏度和高分辨率的需求。該產(chǎn)品滿足高端電子材料對純度和性能的嚴(yán)格要求,是提升光刻膠性能的關(guān)鍵組分之一。

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【物理性質(zhì)】

基本性質(zhì)

化學(xué)名稱:PAG 203

分子量:662.62 g/mol

分子式:C25H28O8N2F6S2

外觀:白色至淺黃色粉末或晶體

光化學(xué)性能

光譜吸收范圍:深紫外(DUV)至極紫外(EUV)波段

產(chǎn)酸效率:高光解效率,酸產(chǎn)量穩(wěn)定

熱穩(wěn)定性與儲存條件

熔點:根據(jù)結(jié)構(gòu)優(yōu)化,通常大于150℃

儲存條件:密封避光,低溫儲存(≤25℃),避免濕氣和氧化環(huán)境

【應(yīng)用領(lǐng)域】

光刻膠制備

作為關(guān)鍵的光致產(chǎn)酸劑,PAG 203能夠在光刻膠中顯著提高光敏性能。

1)適用于ArF、KrFDUV光刻工藝,支持高分辨率納米級圖案制造。

2)在EUV光刻中表現(xiàn)出優(yōu)異的酸生成效率,提升膠體顯影性能。

微電子加工

廣泛應(yīng)用于集成電路制造中的高精度圖案轉(zhuǎn)移工藝。

1)優(yōu)化器件線寬控制,滿足高密度集成電路需求。

2)提升曝光和顯影過程中的圖形清晰度與穩(wěn)定性。

特殊電子材料開發(fā)

在功能性光刻材料和敏化劑的研發(fā)中,PAG 203是重要原料。

1)應(yīng)用于光刻膠配方優(yōu)化,提升材料化學(xué)惰性與穩(wěn)定性。

2)適配顯示器、傳感器等領(lǐng)域的高性能電子材料需求。


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