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(4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate

ProductNum CAS No. MDL No. PubChem ID Formula MW Purity Appearance
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Product Name (4-(tert-butyl)phenyl)diphenylsulfonium,2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate
CAS0-0-YH84016
ProductNumYH84016
FormulaC28H23F5O3S2
MW566.1

電子級(4-(叔丁基)苯基)二苯基锍五氟苯磺酸鹽是一種高純度、穩定的锍鹽化合物。其獨特的三芳基锍陽離子和強酸性五氟苯磺酸陰離子,使其具備優異的光敏和化學特性,特別適用于半導體制造中的光刻膠配方及其他高精度微加工應用。

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[基本信息]

中文名稱:(4-(叔丁基)苯基)二苯基磺酸鹽,2,3,4,5,6-五氟苯磺酸銨(1:1)

英文名稱:(4-(tert-butyl)phenyl) diphenyl sulfonium,2,3,4,5,6-pentafluorobenzenesulfonate

分子式:C28H23F5O3S2

分子量:566.1 g/mol

外觀:白色或淺黃色粉末或結晶體。

純度:≥99.9%,符合電子級材料要求。

溶解性:
1)溶于極性有機溶劑,如乙腈、二氯甲烷。
2)不溶于水,表現出良好的溶劑選擇性。

熱穩定性:能夠在300°C以下保持化學穩定性。

 [應用領域]

光刻膠行業
1)作為光刻膠中的光敏劑,提高曝光分辨率。
2)適用于深紫外(DUV)和極紫外(EUV)光刻技術,滿足納米級圖形制造需求。

微電子制造
1)用于干法蝕刻和抗蝕劑技術,提升加工精度。
2)支持復雜的微納圖形制造工藝。

高性能材料開發
1)在功能性薄膜中提高材料的耐久性和穩定性。
2)廣泛應用于高端顯示器和新能源設備的加工。

該產品憑借其高純度與性能穩定性,已成為現代電子制造技術中的關鍵化學品,為提高器件的可靠性和制造效率提供了堅實保障。


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86-571-82693216
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